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关于推出新款R&D纳米压印设备 RubiQ

发布日期:2020-06-17


SCIVAX株式会社(总部:神奈川县川崎市,社长:田中悟,以下简称为:SCIVAX)
为了 响应企业、大学、研究机构等对纳米压印的要求,将发售面向R&D的纳米压印装置“RubiQ”

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背景

纳米压印技术可加工纳米级(十亿分之一米)的图案,操作过程将其模板压在诸如树脂之类的被成型材料上,
以制造复制出模板上的精细结构。此转印技术,较之半导体制造行业的光刻技术,能够以更低廉的成本进行加工生产。
适合于制造光学器件,例如透镜阵列和显示器,另外目前也有望在生物技术和医学应用等领域被广泛使用。

纳米压印设备的概述和特点
设备名称:RubiQ
特征:
-通过以下方法进行组合,总共可从 14 种配置进行选择订购
固化方式:UV /加热/两用型
成型方法:平板施压法/气体辅助均压法(Scivax 专利)/两用型
驱动系统:伺服马达/气缸

-各种额外配置选项自动化操作,模板搬运机构,高性能过滤器,消除静电机构,高真空度机构 等
*即使在安装设备后,也可以更改或添加上述方法和功能。


设备规格

方式 热纳米压印/ UV纳米压印
最大加工尺寸 φ100mm
最大负荷 20kN
热规格 加热温度:250℃、
加热/冷却方式:加热器/水冷
UV规格 波长:365nm、照度:100mW/cm² ~
真空构造 对应
外形,重量
W500 ×D700 ×H1700(mm) 260kg~



发售时期
2020 年 6 月下旬起接受预定
2020 年 11 月起出货

今后的发展
SCIVAX 将通过高维 R&D 纳米印制装置来支持企业、大学、研究机构的研究和开发,
在量产阶段可通过提供制造受托服务,支持低成本、短时间内的产品化。


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