检查
我们具备最先端的高速外观检查设备（INSPECTRA,OPTOSCAN）等的高级检查技术。
与晶圆检查相关的客户的课题
• 公司内部设备无法对应
• 公司内部设备使用日程安排已满，无法使用
SCIVAX 的解决策略提案
• 我们也承接少量（几张起）代工
检查设备列表
外观检查设备 INSPECTRA
主要用途：对晶圆及薄膜的表面外观进行自动检查
大面积细小缺陷检查设备 OptoScan
● 模板的评估·解析
● 对应各种纹样形状及模板材质（Ni、石英、树脂模等）
● 脱模剂劣化·剥落监测
● 对于成型后的纹样进行均一性评估·解析
● 通过自主技术实现高速·高感度摄像
