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检查装置

大面积缺陷检查设备 OptoScan-300
可对模板及转印膜等进行评估,通过对纳米压印模板及转印膜的纹样进行宏观视角的摄像
可在短时间内对纹样缺陷、脱模剂涂抹均一性进行评估·检查。

●模板的评估·解析
●对应各种纹样形状及模板材质(Ni、石英、树脂模等)
●脱模剂的劣化·剥落监测
●对于成型纹样进行均一性评估·解析
●通过自有技术实现高速·高感度摄像

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